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鐳射干涉儀在計量檢定領域的應用

釋出時間☁☁:2022-08-09      點選次數☁☁:124

鐳射干涉儀以光波為載體,利用鐳射作為長度基準,是高精度│☁、高靈敏度的測量儀器◕╃•☁。鐳射干涉儀不僅廣泛用於裝備如數控機床│☁、鐳射切割機│☁、光刻機等▩╃,在計量檢定領域也能大展身手◕╃•☁。


1│☁、測長機檢定

傳統的測長機示值誤差主要採用量塊進行校準▩╃,受環境因素影響較大▩╃,校準條件要求高▩╃,且量程大於1m的測長機需要分段校準▩╃,效率低▩╃,而使用鐳射干涉儀進行校準▩╃,不僅可以提高效率▩╃,還可透過環境補償單元對空氣溫度│☁、壓力│☁、溼度和材料溫度進行補償▩╃,提高校準精度◕╃•☁。

圖片1.jpg

SJ6000鐳射干涉儀檢定測長機


2│☁、三座標測量機示值誤差測量

隨著三座標測量機技術的更新和發展▩╃,使用傳統的量塊│☁、球板等已經難以滿足大型三座標測量機的檢測要求▩╃,鐳射干涉儀測量準確度高▩╃,測量範圍大▩╃,測量資料豐富▩╃,適合測量三座標各項幾何誤差◕╃•☁。

SJ6000鐳射干涉儀檢測三座標測量機


3│☁、位移感測器檢定

利用鐳射干涉儀對位移感測器檢定成為發展趨勢,其特點是測量精度高│☁、反應速度快│☁、易於數字化測量◕╃•☁。在測量中設計一個精密導軌,將反射鏡同被測感測器放在一起同步檢測,從而形成對比▩╃,位移感測器自動檢定系統與SJ6000鐳射干涉儀(標準)對定長位移進行測試對比,得出往復測試實驗結果◕╃•☁。

圖片3.jpg

SJ6000鐳射干涉儀檢測位移感測器


4│☁、影像儀定位精度測量

影像儀傳統檢測方法採用線紋尺比對法進行▩╃,存在著檢測精度低│☁、測量系統誤差大│☁、成因分析功能缺失│☁、改善方向不精準│☁、 檢測效率低下等問題◕╃•☁。使用鐳射干涉儀可以對影像儀的定位誤差進行快速檢測▩╃,對測量資料進行運算分析▩╃,利用軟體生產補償檔案快速實施二維平面多點位補償▩╃,可大大降低裝置製造過程中的精度檢測難度│☁、提升檢測效率及補償效率◕╃•☁。

SJ6000鐳射干涉儀檢測影像儀


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