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鐳射干涉儀測量機床精度之線性測量

釋出時間₪✘:2022-11-02      點選次數₪✘:404

數控機床因為高精度▩╃、高效率▩╃、多功能等優點↟↟,廣泛應用於各行業中▩••◕▩。為了保證機床的加工精度↟↟,需要用到鐳射干涉儀對它們做定期精度檢查↟↟,這樣才能保證加工產品的質量▩••◕▩。

線性測量是鐳射干涉儀用來檢定機床定位精度的一種常見測量▩••◕▩。


線性測量構建

進行線性測量需使用到“線性干涉鏡"(由分光鏡和角錐反射鏡A組 成)和“線性反射鏡"(角錐反射鏡B)▩••◕▩。鐳射從SJ6000鐳射干涉儀主機(鐳射頭)出射↟↟,透過分光 鏡後將分成兩束鐳射↟↟,一束鐳射為透過角錐反射鏡A的參考光↟↟,另一束鐳射為透過角錐反 射鏡B的測量光↟↟,透過移動“線性反射鏡"可實現運動軸的線性測量▩••◕▩。


線性測量原理構建圖


SJ6000鐳射干涉儀採用鐳射雙縱模熱穩頻技術↟↟,可以輸出高精度▩╃、抗擾力強▩╃、高穩定性的鐳射頻率▩••◕▩。其線性測量可滿足(0〜80)m範圍內的精密測量↟↟,主要應用於測量直線導軌的定位精度▩╃、重複 定位精度和反向間隙等▩••◕▩。


數控機床的線性測量


數控機床傾斜軸的線性測量

線性測量步驟₪✘:

1▩╃、設定鐳射器系統以執行線性測量;

2▩╃、使鐳射束與機床的運動軸準直;

3▩╃、啟動自動環境補償功能↟↟,確保在軟體中輸入正確的材料膨脹係數;

4▩╃、測量和記錄機床的線性誤差;

5▩╃、分析資料▩••◕▩。


注意事項

1▩╃、線性測量過程尤其是在測量與鐳射頭成直角的水平軸和垂直軸▩╃、斜軸的時候↟↟,光路調節困難↟↟,這時候就需要巧妙安裝反射鏡和折射鏡▩••◕▩。

2▩╃、使用光靶能簡單準直鐳射束

3▩╃、在開始測量時↟↟,或者在返程測量時鐳射干涉儀不踩點↟↟,可能原因有₪✘:

(1)光強太弱;

(2)當返回測量時↟↟,鐳射干涉儀不採集資料▩••◕▩。這時候要分析“越程"量設定是否正確↟↟,或是機床在程式執行中有沒有考慮“越程"▩••◕▩。

4▩╃、線性反射鏡箭頭方向就是鐳射進行方向↟↟,一定要正確組合線性反射鏡組▩••◕▩。

5▩╃、反射鏡組的一條邊稜與永磁體座儘量平行或垂直↟↟,這將為後面進行找正光源做好基礎▩••◕▩。

6▩╃、鐳射頭預熱時間會根據氣溫的變化而變化↟↟,所以在測量資料前要保證在鐳射波長穩定後進行▩••◕▩。

7▩╃、測試工作完成後↟↟,應先將鐳射頭電源關掉↟↟,關閉電腦▩••◕▩。


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