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沒想到形貌儀竟然有如此之多的特性

釋出時間↟✘:2022-11-22      點選次數↟✘:232
 
  形貌儀是一款用於對各種精密器件及材料表面進行亞奈米級測量的檢測儀器╃│₪│。它是以白光干涉技術為原理│··✘•、結合精密Z向掃描模組│··✘•、3D建模演算法等對器件表面進行非接觸式掃描並建立表面3D影象╃◕·▩╃,透過系統軟體對器件表面3D影象進行資料處理與分析╃◕·▩╃,並獲取反映器件表面質量的2D│··✘•、3D引數╃◕·▩╃,從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器╃│₪│。
  可廣泛應用於半導體制造及封裝工藝檢測│··✘•、3C電子玻璃屏及其精密配件│··✘•、光學加工│··✘•、微納材料及製造│··✘•、汽車零部件│··✘•、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天│··✘•、科研院所等領域中╃│₪│。可測各類從超光滑到粗糙│··✘•、低反射率到高反射率的物體表面╃◕·▩╃,從奈米到微米級別工件的粗糙度│··✘•、平整度│··✘•、微觀幾何輪廓│··✘•、曲率等╃◕·▩╃,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300餘種2D│··✘•、3D引數作為評價標準╃│₪│。
  形貌儀的產品特性↟✘:
  1│··✘•、高精度│··✘•、高重複性
  ①採用光學干涉技術│··✘•、精密Z向掃描模組和優異的3D重建演算法組成測量系統╃◕·▩╃,保證測量精度高;
  ②的隔振系統╃◕·▩╃,能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動╃◕·▩╃,消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲╃◕·▩╃,保障儀器在大部分的生產車間環境中也能穩定使用╃◕·▩╃,獲得高測量重複性;
  2│··✘•、一體化操作的測量分析軟體
  ①測量與分析同介面操作╃◕·▩╃,無須切換╃◕·▩╃,測量資料自動統計╃◕·▩╃,實現了快速批次測量的功能;
  ②視覺化視窗╃◕·▩╃,便於使用者實時觀察掃描過程;
  ③結合自定義分析模板的自動化測量功能╃◕·▩╃,可自動完成多區域的測量與分析過程;
  ④幾何分析│··✘•、粗糙度分析│··✘•、結構分析│··✘•、頻率分析│··✘•、功能分析五大功能模組齊全;
  ⑤一鍵分析│··✘•、多檔案分析╃◕·▩╃,自由組合分析項儲存為分析模板╃◕·▩╃,批次樣品一鍵分析╃◕·▩╃,並提供資料分析與統計圖表功能;
  ⑥可測依據ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300餘種2D│··✘•、3D引數╃│₪│。
  3│··✘•、雙重防撞保護措施
  除初級的軟體ZSTOP設定Z向位移下限位進行防撞保護外╃◕·▩╃,另在Z軸上設計有機械電子感測器╃◕·▩╃,當鏡頭觸碰到樣品表面時╃◕·▩╃,儀器自動進入緊急停止狀態╃◕·▩╃,保護儀器╃◕·▩╃,降低人為操作風險╃│₪│。
  4│··✘•、精密操縱手柄
  整合X│··✘•、Y│··✘•、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄╃◕·▩╃,可快速完成載物臺平移│··✘•、Z向聚焦│··✘•、找條紋等測量前工作╃│₪│。
  5│··✘•、雙通道氣浮隔振系統
  既可以接入客戶現場的穩定氣源也可以接入標配靜音空壓機╃◕·▩╃,在無外接氣源的條件下也可穩定工作╃│₪│。
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