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鐳射干涉儀快速檢測三座標測量機垂直度

釋出時間•▩•│:2022-12-28      點選次數•▩•│:303

三座標測量機測量精度高▩↟₪•、效率高☁│,廣泛應用在精密加工檢測領域▩✘₪·。它與數控機床是保證工件測量與加工精度的關鍵裝置▩✘₪·。其中作為高精度的測量基準☁│,幾何誤差的快速▩↟₪•、高精度檢測技術都是三座標測量機效能提升的關鍵▩✘₪·。三座標測量機執行速度的加快☁│,動態誤差往往會比靜態/準靜態誤差對測量精度影響更大▩✘₪·。特別在高速測量過程中☁│,產生的自激振動和受迫振動☁│,都會產生動態誤差▩✘₪·。鐳射干涉儀是常用的機床▩↟₪•、三座標測量機幾何誤差檢測的手段▩✘₪·。


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其中垂直度測量是透過比較正交軸的直線度值從而確定正交軸的非直角度▩✘₪·。三座標測量機的垂直度誤差可能是導軌磨損▩↟₪•、事故造成導軌損壞▩↟₪•、機器地基差▩↟₪•、正交軸上兩原點感測器未準直等因素造成的☁│,垂直度誤差將對機器的定位精度及插補能力產生直接影響▩✘₪·。SJ6000鐳射干涉儀以光波為載體☁│,在動態測量軟體的配合下☁│,可實現三座標測量機的垂直度檢測分析▩✘₪·。


垂直度測量構建

SJ6000鐳射干涉儀垂直度的測量是直線度測量在二維方向上的延伸▩✘₪·。垂直度測量由正交軸的兩組直線度測量組成☁│,其中直線度反射鏡作為共同的參考基準☁│,在測量過程中保持原為☁│,且不進行調整;光學角尺用於至少在其中一次直線度測量中☁│,允許調整鐳射束與軸的準直▩✘₪·。垂直度誤差=光學直角尺誤差-斜度θ1-斜度▩✘₪·。


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SJ6000鐳射干涉儀

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垂直度測量的光路原理構件圖


圖片5.jpg

三座標測量機XY軸的垂直度測量


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