鐳射干涉儀原理特點

　　一▩☁│₪↟、鐳射干涉儀₪◕▩₪，以鐳射波長為已知長度₪◕▩₪，利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量◕₪╃•✘。
 

　　二▩☁│₪↟、鐳射具有高強度▩☁│₪↟、高度方向性▩☁│₪↟、空間同調性▩☁│₪↟、窄頻寬和高度單色性等優點◕₪╃•✘。目前常用來測量長度的干涉儀₪◕▩₪，主要是以邁克爾遜干涉儀為主₪◕▩₪，並以穩頻氦氖鐳射為光源₪◕▩₪，構成一個具有干涉作用的測量系統◕₪╃•✘。鐳射干涉儀可配合各種折射鏡▩☁│₪↟、反射鏡等來作線性位置▩☁│₪↟、速度▩☁│₪↟、角度▩☁│₪↟、真平度▩☁│₪↟、真直度▩☁│₪↟、平行度和垂直度等測量工作₪◕▩₪，並可作為精密工具機或測量儀器的校正工作◕₪╃•✘。
 

　　三▩☁│₪↟、位置精度的檢測及其自動補償可檢測數控機床定位精度▩☁│₪↟、重複定位精度▩☁│₪↟、微量位移精度等◕₪╃•✘。利用雷尼紹ML10鐳射干涉儀不僅能自動測量機器的誤差₪◕▩₪，而且還能透過RS232介面自動對其線性誤差進行補償₪◕▩₪，比通常的補償方法節省了大量時間₪◕▩₪，並且避免了手工計算和手動數控鍵入而引起的操作者誤差₪◕▩₪，同時可最大限度地選用被測軸上的補償點數₪◕▩₪，使機床達到最佳精度₪◕▩₪，另外操作者無需具有機床引數及補償方法的知識◕₪╃•✘。
 

　　四▩☁│₪↟、雙軸定位精度的檢測及其自動補償雷尼紹雙鐳射干涉儀系統可同步測量大型龍門移動式數控機床₪◕▩₪，由雙伺服驅動某一軸向運動的定位精度₪◕▩₪，而且還能透過RS232介面₪◕▩₪，自動對兩軸線性誤差分別進行補償◕₪╃•✘。
 

　　五▩☁│₪↟、數控機床動態效能檢測利用RENISHAW動態特性測量與評估軟體₪◕▩₪，可用鐳射干涉儀進行機床振動測試與分析(FFT)₪◕▩₪，滾珠絲槓的動態特性分析₪◕▩₪，伺服驅動系統的響應特性分析₪◕▩₪，導軌的動態特性(低速爬行)分析等◕₪╃•✘。