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這就是白光干涉儀的幾大特徵所在

釋出時間↟╃◕✘:2021-12-13      點選次數↟╃◕✘:356
 
  白光干涉儀是目前三維形貌測量領域精度最高的檢測儀器之一▩│✘▩。在同等放大倍率下╃·,測量精度和重複性都高於共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡▩│✘▩。在一些奈米或者亞奈米級別的超高精度加工領域╃·,除了白光干涉儀╃·,其它儀器達不到檢測的精度要求▩│✘▩。
  是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關物理量的光學儀器▩│✘▩。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導致干涉條紋的移動╃·,而某一束相干光的光程變化是由它所透過的幾何路程或介質折射率的變化引起╃·,所以透過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變數╃·,從而測得與此有關的其他物理量▩│✘▩。
  白光干涉儀的效能特徵↟╃◕✘:
  1▩••、高精度▩••、高重複性
  3D重建演算法▩••、精密Z向掃描模組和光學干涉技術組成的測量系統╃·,以及能有效隔離2Hz以上頻率的隔振系統╃·,保證了測量精度和測量重複性▩│✘▩。
  2▩••、一體化操作的測量分析軟體
  測量資料自動統計╃·,視覺化視窗╃·,結合自定義分析模板的自動化測量功能╃·,實現了快速批次測量的功能╃·,自動完成多區域的測量與分析過程▩│✘▩。
  3▩••、精密操縱手柄
  整合X▩••、Y▩••、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄╃·,可快速完成Z向聚焦▩••、載物臺平移▩••、找條紋等測量前工作▩│✘▩。
  4▩••、雙重防撞保護措施
  (1)軟體防撞保護ZSTOP
  即在Z軸上設定停止位╃·,設定位置到樣品表面的距離小於鏡頭的工作距離╃·,當鏡頭運動到該位置時╃·,就立刻停止不再向下運動╃·,起到保護樣品和鏡頭的作用▩│✘▩。
  (2)Z軸硬體防撞感測器
  在鏡頭的上方安裝有機械防撞感測器╃·,當鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時╃·,觸發感應器╃·,鏡頭與樣品表面變為軟接觸╃·,並觸發緊急停止開關╃·,不再響應向下位移的指令╃·,避免鏡頭和樣品的損傷╃·,雙重防護╃·,守護裝置和產品╃·,也守護每一分價值和信任▩│✘▩。
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