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是什麼讓你對光學輪廓儀如此看好的

釋出時間◕•╃│:2022-07-22      點選次數◕•╃│:101
 
  光學輪廓儀是以白光干涉技術原理│☁▩▩•,對各種精密器件表面進行奈米級測量的儀器│☁▩▩•,透過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌│☁▩▩•,專用於精密零部件之重點部位表面粗糙度·✘₪••、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量↟•✘│。
  光學輪廓儀是對物體的輪廓·✘₪••、二維尺寸·✘₪••、二維位移進行測試與檢驗的儀器│☁▩▩•,作為精密測量儀器在汽車製造和鐵路行業的應用十分廣泛↟•✘│。是透過儀器的觸針與被測表面的滑移進行測量的│☁▩▩•,是接觸測量↟•✘│。其主要優點是可以直接測量某些難以測量到的零件表面│☁▩▩•,如孔·✘₪••、槽等的表面粗糙度│☁▩▩•,又能直接按某種評定標準讀數或是描繪出表面輪廓曲線的形狀│☁▩▩•,且測量速度快·✘₪••、結果可靠·✘₪••、操作方便↟•✘│。但是被測表面容易被觸針劃傷│☁▩▩•,為此應在保證可靠接觸的前提下儘量減少測量壓力↟•✘│。
  光學輪廓儀的主要功能◕•╃│:
  1·✘₪••、共聚焦
  共聚焦技術可以用來測量各類樣品表面的形貌↟•✘│。它比光學顯微鏡有更高的橫向解析度,可達0.10um↟•✘│。利用它可實現臨界尺寸的測量↟•✘│。當用150倍·✘₪••、0.95數值孔徑的鏡頭時│☁▩▩•,共聚焦在光滑表面測量斜率達70°(粗糙表面達86°)↟•✘│。專的共聚焦演算法保證Z軸測量重複性在奈米範疇↟•✘│。
  2·✘₪••、干涉
  ①相位差干涉(PSI)
  相位差干涉是一種亞奈米級精度的用於測量光滑表面高度形貌的技術↟•✘│。它的優勢在於任何放大倍數都可以保證亞奈米級的縱向解析度↟•✘│。使用2.5倍的鏡頭就能實現超高縱向解析度的大視場測量↟•✘│。
  ②白光干涉(VSI)
  白光干涉是一種奈米級測量精度的用於測量各種表面高度形貌的技術↟•✘│。它的優勢在於任何放大倍數都可以保證奈米級的縱向解析度↟•✘│。
  3·✘₪••、多焦面疊加
  多焦面疊加技術是用來測量非常粗糙的表面形貌↟•✘│。根據Sensofar在共聚焦和干涉技術融合應用方面的豐富經驗│☁▩▩•,特別設計了此功能來補足低倍共聚焦測量的需要↟•✘│。該技術的最大亮點是快速(mm/s)·✘₪••、掃描範圍大和支援斜率大(最大86°)↟•✘│。此功能對工件和模具測量特別有用↟•✘│。
  4·✘₪••、薄膜測量
  用分光反射計可以完善地解決薄膜厚度測量↟•✘│。Sneox在增加了分光反射計後可以測量10nm的膜厚和最多10層膜↟•✘│。由於是透過顯微鏡頭測量│☁▩▩•,最小的測量點為5um↟•✘│。因為系統裡有組合的LED光源│☁▩▩•,所以實時觀察和膜厚測量能同時進行↟•✘│。
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