中圖白光干涉儀裝置具有的測量晶圓翹曲度功能₪◕▩₪，非常適合晶圓₪◕▩₪，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量₪◕▩₪，應變測量以及表面形貌測量◕₪╃•✘。它以白光干涉技術為原理₪◕▩₪，能夠以優於奈米級的解析度₪◕▩₪，測試各類表面並自動聚焦測量工件獲取2D₪◕▩₪，3D表面粗糙度▩☁│₪↟、輪廓等一百餘項引數₪◕▩₪，透過一個按鍵開關₪◕▩₪，可以選擇三維輪廓儀使用探針掃描模式還是樣品臺掃描模式◕₪╃•✘。廣泛應用於光學₪◕▩₪，半導體₪◕▩₪，材料₪◕▩₪，精密機械等等領域◕₪╃•✘。

中圖儀器OP光學輪廓儀由照明光源系統₪◕▩₪，光學成像系統₪◕▩₪，垂直掃描系統以及資料處理系統構成◕₪╃•✘。是以白光干涉技術為原理₪◕▩₪，能夠以優於奈米級的解析度₪◕▩₪，測試各類表面並自動聚焦測量工件獲取2D₪◕▩₪，3D表面粗糙度▩☁│₪↟、輪廓等一百餘項引數的光學測量儀器◕₪╃•✘。

W1三維光學表面輪廓儀能夠以優於奈米級的解析度₪◕▩₪，非接觸測量樣品表面形貌₪◕▩₪，用於表面形貌紋理₪◕▩₪，微觀結構分析₪◕▩₪，用於測試各類表面並自動聚焦測量工件獲取2D₪◕▩₪，3D表面粗糙度▩☁│₪↟、輪廓等一百餘項引數₪◕▩₪，廣泛應用於光學₪◕▩₪，半導體₪◕▩₪，材料₪◕▩₪，精密機械等領域◕₪╃•✘。

SuperViewW1光學輪廓儀除了用於測量表面形貌或測量表面輪廓外₪◕▩₪，還具有測量晶圓翹曲度功能₪◕▩₪，非常適合晶圓₪◕▩₪，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量₪◕▩₪，應變測量以及表面形貌測量◕₪╃•✘。測量速度快₪◕▩₪，不必像探頭逐點進行測量₪◕▩₪，非接觸高精密測量也不會劃傷甚至破壞工件◕₪╃•✘。特別對高深寬比的溝槽結構₪◕▩₪，可以快速而準確的得到理想的測量結果◕₪╃•✘。

中圖儀器光學表面3d輪廓測量儀以白光干涉技術為原理₪◕▩₪，能夠以優於奈米級的解析度₪◕▩₪，非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器₪◕▩₪，用於表面形貌紋理₪◕▩₪，微觀結構分析₪◕▩₪，用於測試各類表面並自動聚焦測量工件獲取2D₪◕▩₪，3D表面粗糙度▩☁│₪↟、輪廓等一百餘項引數₪◕▩₪，廣泛應用於光學₪◕▩₪，半導體₪◕▩₪，材料₪◕▩₪，精密機械等領域◕₪╃•✘。

中圖儀器3D光學輪廓儀器能夠以優於奈米級的解析度測各類從超光滑到粗糙▩☁│₪↟、低反射率到高反射率的物體表面₪◕▩₪，從奈米到微米級別工件的粗糙度▩☁│₪↟、微觀幾何輪廓▩☁│₪↟、平整度▩☁│₪↟、曲率等₪◕▩₪，應用於半導體制造及封裝工藝檢測▩☁│₪↟、3C電子玻璃屏及其精密配件▩☁│₪↟、光學加工▩☁│₪↟、微納材料及製造▩☁│₪↟、汽車零部件▩☁│₪↟、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天▩☁│₪↟、科研院所等領域中◕₪╃•✘。

w1光學3D表面輪廓儀的X/Y方向標準行程為140*100mm₪◕▩₪，滿足減薄後晶圓表面大範圍多區域的粗糙度自動化檢測▩☁│₪↟、鐳射槽深寬尺寸▩☁│₪↟、鍍膜臺階高等微奈米級別精度的測量◕₪╃•✘。測量三維形貌的系統原理是在視場範圍內從樣品表面底部到頂部逐層掃描₪◕▩₪，獲得數百幅干涉條紋影象₪◕▩₪，找到該過程中每一個畫素點處於光強大時的位置₪◕▩₪，完成3D重建◕₪╃•✘。

中圖儀器光學輪廓儀W系列採用光學干涉技術▩☁│₪↟、精密Z向掃描模組和3D重建演算法組成測量系統₪◕▩₪，保證測量精度高◕₪╃•✘。能夠以優於奈米級的解析度₪◕▩₪，測各類從超光滑到粗糙▩☁│₪↟、低反射率到高反射率的物體表面₪◕▩₪，從奈米到微米級別工件的粗糙度▩☁│₪↟、平整度▩☁│₪↟、微觀幾何輪廓▩☁│₪↟、曲率等引數◕₪╃•✘。