SuperViewW1光學3D白光干涉儀​解析度0.1μm◕✘│☁，重複性0.1%◕✘│☁，可為樣品表面測量提供快速◕✘│☁，便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案✘↟。應用領域廣泛◕✘│☁，操作簡便◕✘│☁，可自動聚焦測量工件獲取2D◕✘│☁，3D表面粗糙度▩·↟◕、輪廓等一百餘項引數✘↟。可以用於測試各類表面✘↟。比如透明的玻璃表面◕✘│☁，加上增透膜◕✘│☁，其反射率小於1%；也可以用於測試直至100%反射率的各類高反表面✘↟。

SuperViewW1白光測量光學干涉儀用於半導體制造及封裝工藝檢測▩·↟◕、3C電子玻璃屏及其精密配件▩·↟◕、光學加工▩·↟◕、微納材料及製造▩·↟◕、汽車零部件▩·↟◕、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天▩·↟◕、科研院所等領域中◕✘│☁，對各種精密器件及材料表面進行亞奈米級測量✘↟。可以測量可測各類從超光滑到粗糙▩·↟◕、低反射率到高反射率的物體表面◕✘│☁，從奈米到微米級別工件的粗糙度▩·↟◕、平整度▩·↟◕、微觀幾何輪廓▩·↟◕、曲率等✘↟。

SuperViewW1白光干涉顯微輪廓儀裝置提供表徵微觀形貌的粗糙度和臺階高▩·↟◕、角度等輪廓尺寸測量功能；以白光干涉技術為原理◕✘│☁，可對器件表面進行非接觸式掃描並建立表面3D影象◕✘│☁，從而實現器件表面形貌3D測量✘↟。能對各種產品▩·↟◕、部件和材料表面的平面度▩·↟◕、粗糙度▩·↟◕、波紋度▩·↟◕、面形輪廓▩·↟◕、表面缺陷▩·↟◕、磨損情況▩·↟◕、腐蝕情況▩·↟◕、孔隙間隙▩·↟◕、臺階高度▩·↟◕、彎曲變形情況▩·↟◕、加工情況等表面形貌特徵進行測量和分析✘↟。

SuperViewW1三維白光光學輪廓測量儀以白光干涉技術為原理◕✘│☁，能夠以優於奈米級的解析度◕✘│☁，測試各類表面並自動聚焦測量工件獲取2D◕✘│☁，3D表面粗糙度▩·↟◕、輪廓等一百餘項引數◕✘│☁，廣泛應用於光學◕✘│☁，半導體◕✘│☁，材料◕✘│☁，精密機械等等領域✘↟。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器✘↟。

中圖儀器3d光學輪廓儀檢測儀SuperViewW1以白光干涉技術為原理▩·↟◕、結合精密Z向掃描模組▩·↟◕、3D 建模演算法等對器件表面進行非接觸式掃描並建立表面3D影象◕✘│☁，透過系統軟體對器件表面3D影象進行資料處理與分析◕✘│☁，並獲取反映器件表面質量的2D▩·↟◕、3D引數◕✘│☁，從而實現器件表面形貌3D測量✘↟。

SuperViewW1白光干涉儀粗糙度儀用於對各種精密器件及材料表面進行亞奈米級測量✘↟。可對各種產品▩·↟◕、部件和材料表面的平面度▩·↟◕、粗糙度▩·↟◕、波紋度▩·↟◕、面形輪廓▩·↟◕、表面缺陷▩·↟◕、磨損情況▩·↟◕、腐蝕情況▩·↟◕、孔隙間隙▩·↟◕、臺階高度▩·↟◕、彎曲變形情況▩·↟◕、加工情況等表面形貌特徵進行測量和分析✘↟。

SuperViewW1白光干涉儀檢測裝置以白光干涉技術為原理◕✘│☁，透過系統軟體對器件表面3D影象進行資料處理與分析◕✘│☁，是一款用於對各種精密器件及材料表面進行亞奈米級測量的檢測儀器✘↟。

SuperView W1-Pro3d輪廓形貌掃描器是一款用於對各種精密器件及材料表面進行亞奈米級測量的檢測儀器✘↟。除主要用於測量表面形貌或測量表面輪廓外◕✘│☁，具有的測量晶圓翹曲度功能◕✘│☁，非常適合晶圓◕✘│☁，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量◕✘│☁，應變測量以及表面形貌測量✘↟。可覆蓋8英寸及以下晶圓◕✘│☁，定製版真空吸附盤◕✘│☁，穩定固定Wafer；氣浮隔振+殼體分離式設計◕✘│☁，隔離地面震動與噪聲干擾✘↟。