光學3D表面輪廓檢測儀

SuperViewW1光學3D表面輪廓檢測儀特殊光源模式✘₪，可以廣泛適用於從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量✘₪，讓輪廓測量價格變實惠✘₪，適用於各種產品▩▩₪··、部件和材料表面的平面度▩▩₪··、磨損情況▩▩₪··、腐蝕情況▩▩₪··、粗糙度▩▩₪··、孔隙間隙▩▩₪··、臺階高度▩▩₪··、表面缺陷▩▩₪··、面形輪廓▩▩₪··、波紋度▩▩₪··、彎曲變形情況▩▩₪··、加工情況等表面形貌特徵進行測量和分析↟╃╃☁✘。具有雙通道氣浮隔振系統✘₪，既可以接入客戶現場的穩定氣源也可以接入標配靜音空壓機✘₪，在無外接氣源的條件下也可穩定工作↟╃╃☁✘。

產品功能

1）裝置提供表徵微觀形貌的粗糙度和臺階高▩▩₪··、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動對焦▩▩₪··、自動找條紋▩▩₪··、自動調亮度等自動化輔助功能；

3）測量中提供自動拼接測量▩▩₪··、定位自動多區域測量功能；

4）分析中提供校平▩▩₪··、影象修描▩▩₪··、去噪和濾波▩▩₪··、區域提取等四大模組的資料處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析▩▩₪··、幾何輪廓分析▩▩₪··、結構分析▩▩₪··、頻率分析▩▩₪··、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時提供一鍵分析和多檔案分析等輔助分析功能↟╃╃☁✘。

效能特徵

1▩▩₪··、高精度▩▩₪··、高重複性

3D重建演算法▩▩₪··、精密Z向掃描模組和光學干涉技術組成的測量系統✘₪，以及能有效隔離2Hz以上頻率的隔振系統✘₪，保證了測量精度和測量重複性↟╃╃☁✘。

2▩▩₪··、一體化操作的測量分析軟體

測量資料自動統計✘₪，視覺化視窗✘₪，結合自定義分析模板的自動化測量功能✘₪，實現了快速批次測量的功能✘₪，自動完成多區域的測量與分析過程↟╃╃☁✘。

3▩▩₪··、精密操縱手柄

整合X▩▩₪··、Y▩▩₪··、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄✘₪，可快速完成Z向聚焦▩▩₪··、載物臺平移▩▩₪··、找條紋等測量前工作↟╃╃☁✘。

SuperViewW1光學3D表面輪廓檢測儀是以白光干涉技術為原理的白光干涉儀✘₪，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內✘₪，確保了高款率檢測✘₪，具有測量精度高▩▩₪··、操作便捷▩▩₪··、功能全▩▩₪··、測量引數涵蓋面廣的優點↟╃╃☁✘。基於白光干涉原理✘₪，不僅用於零件的檢測✘₪，還是一種在生產中用於檢測軋製產品表面缺陷的裝置✘₪，能完成缺陷尺寸的線上檢測↟╃╃☁✘。廣泛應用於半導體制造及封裝工藝檢測▩▩₪··、3C電子玻璃屏及其精密配件▩▩₪··、光學加工▩▩₪··、微納材料及製造▩▩₪··、汽車零部件▩▩₪··、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天▩▩₪··、科研院所等領域中↟╃╃☁✘。