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品牌 | 自營品牌 | 產地類別 | 國產 |
---|---|---|---|
外形尺寸 | 900×700×604mm | 重量 | 150kg |
應用領域 | 生物產業,能源,航天,汽車,綜合 |
SuperViewW1白光干涉3D輪廓儀結合精密Z向掃描模組▩↟✘│、3D 建模演算法等對器件表面進行非接觸式掃描並建立表面3D影象╃✘│✘₪,透過系統軟體對器件表面3D影象進行資料處理與分析╃✘│✘₪,並獲取反映器件表面質量2D▩↟✘│、3D引數│·↟•。
1)具備各種型別樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能;
2)具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能╃✘│✘₪,粗糙度範圍涵蓋0.1nm到數十微米的級別;
3)具備校平▩↟✘│、去除形狀▩↟✘│、去噪▩↟✘│、濾波等資料處理功能;
4)具備粗糙度分析▩↟✘│、輪廓分析▩↟✘│、結構分析▩↟✘│、功能分析等表面引數分析功能;
5)具備自動對焦▩↟✘│、自動測量▩↟✘│、自動多區域測量▩↟✘│、自動拼接測量等自動化功能;
6)具備一鍵分析▩↟✘│、多檔案分析等快速▩↟✘│、批次分析功能;
7)具備word▩↟✘│、excel等資料報表匯出功能│·↟•。
縱向掃描│↟:≤10.3mm╃✘│✘₪,與選用物鏡相關
掃描幀速│↟:50FPS/s
粗糙度重複性│↟:0.005nm(依據ISO 25178-2012)
光學解析度│↟:0.4μm~3.7μm╃✘│✘₪,與選用物鏡相關
至大點數│↟:1048576(標準)
臺階測量│↟:準確度≤0.3%╃✘│✘₪,重複性≤0.08%1σ
SuperViewW1白光干涉3D輪廓儀可廣泛應用於半導體制造及封裝工藝檢測▩↟✘│、3C電子玻璃屏及其精密配件▩↟✘│、光學加工▩↟✘│、微納材料及製造▩↟✘│、汽車零部件▩↟✘│、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天▩↟✘│、科研院所等領域中│·↟•。可測各類從超光滑到粗糙▩↟✘│、低反射率到高反射率的物體表面╃✘│✘₪,從奈米到微米級別工件的粗糙度▩↟✘│、平整度▩↟✘│、微觀幾何輪廓▩↟✘│、曲率等╃✘│✘₪,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300餘種2D▩↟✘│、3D引數作為評價標準│·↟•。
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