CP200臺階儀

臺階儀是一種接觸式表面形貌測量儀器☁☁，可以對微米和奈米結構進行膜厚和薄膜高度☁☁▩◕◕、表面形貌☁☁▩◕◕、表面波紋和表面粗糙度等的測量•☁╃·。臺階儀對測量工件的表面反光特性☁☁▩◕◕、材料種類☁☁▩◕◕、材料硬度都沒有特別要求☁☁，樣品適應面廣☁☁，資料復現性高☁☁▩◕◕、測量穩定☁☁▩◕◕、便捷☁☁▩◕◕、高效☁☁，是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段•☁╃·。

中圖儀器臺階儀廣泛應用於▩▩：大學☁☁▩◕◕、研究實驗室和研究所☁☁▩◕◕、半導體和化合物半導體☁☁▩◕◕、高亮度LED☁☁▩◕◕、太陽能☁☁▩◕◕、MEMS微機電☁☁▩◕◕、觸控式螢幕☁☁▩◕◕、汽車☁☁▩◕◕、醫療裝置等行業領域•☁╃·。

CP200臺階儀特性▩▩：

1.出色的重複性和再現性☁☁，滿足被測件測量精度要求

線性可變差動電容感測器（LVDC）☁☁，具有亞埃級解析度☁☁，13um量程下可達0.01埃•☁╃·。高信噪比和低線性誤差☁☁，使得產品能夠掃描到幾奈米至幾百微米臺階的形貌特徵•☁╃·。

2.超微力恆力感測器▩▩：（1-50）mg可調

測力恆定可調☁☁，以適應硬質或軟質材料表面•☁╃·。超低慣量設計和微小電磁力控制☁☁，實現無接觸損傷的精準接觸式測量•☁╃·。

3.超平掃描平臺

系統配有超高直線度導軌☁☁，杜絕運動中的細微抖動☁☁，提高掃描精度☁☁，真實反映工件微小形貌•☁╃·。

4.頂視光學導航系統☁☁，5MP超高解析度彩色相機

5.全自動XY載物臺☁☁， Z軸自動升降☁☁▩◕◕、360°全自動θ轉檯

6.強大的資料採集和分析系統

臺階儀軟體包含多個模組☁☁，為對不同被測件的高度測量及分析評價提供充分支援•☁╃·。

CP200臺階儀典型應用▩▩：