機床測量用鐳射干涉儀

中圖儀器SJ6000機床測量用鐳射干涉儀測量過程全自動化•✘，效率高☁•。儀器集光✘╃╃、機✘╃╃、電✘╃╃、計算機等技術於一體•✘，產品採用進口高效能氦氖鐳射器•✘，其壽命可達50000小時；採用鐳射雙縱模熱穩頻技術•✘，可實現高精度✘╃╃、抗擾力強✘╃╃、長期穩定性好的鐳射頻率輸出；採用高速干涉訊號採集✘╃╃、調理及細分技術•✘，可實現高4m/s的測量速度•✘，以及奈米級的解析度；採用高精度環境補償模組•✘，可實現鐳射波長和材料的自動補償☁•。

測量應用

SJ6000鐳射干涉儀可實現線性測長✘╃╃、角度✘╃╃、直線度✘╃╃、垂直度✘╃╃、平行度✘╃╃、平面度等幾何參量的高精度測量☁•。在動態測量軟體配合下•✘，可實現線性位移✘╃╃、角度和直線度的動態測量與效能檢測•✘，以及進行位移✘╃╃、速度✘╃╃、加速度✘╃╃、振幅與頻率的動態分析•✘，如振動分析✘╃╃、絲桿導軌的動態特性分析✘╃╃、驅動系統的響應特性分析等☁•。

對機床精度再校準

三座標測量機示值誤差測量

測量軟體

（1）友好的人機介面；

（2）豐富的應用功能模組；

（3）嚮導式的操作流程；

（4）簡潔化的記錄管理；

（5）支援中文✘╃╃、英文和俄文介面；

（6）支援企業專屬模板定製☁•。

SJ6000機床測量用鐳射干涉儀的系統具有豐富的模組化元件•✘，可根據具體測量需求而選擇不同的元件☁•。主要為線性鏡組✘╃╃、角度鏡組✘╃╃、直線度鏡組✘╃╃、垂直度鏡組✘╃╃、平面度鏡組✘╃╃、自動精密轉檯☁•。其中•✘，線性鏡組為標配•✘，由線性干涉鏡✘╃╃、線性反射鏡和夾緊孔座構成☁•。可滿足線性位移裝置的定位精度✘╃╃、重複定位精度✘╃╃、反向間隙的測量與分析•✘，以及反向間隙修正和螺距補償☁•。