SJ6000鐳射干涉儀檢測光刻機

光刻機是積體電路生產的最關鍵的裝置之一◕◕▩☁▩，在整個生產過程中佔據重要的地位☁·↟₪☁。高精度的工作臺作為光刻機核心部件之一◕◕▩☁▩，其運動效能和定位精度決定了光刻工藝所能實現的線寬和產率☁·↟₪☁。

光刻機的工作臺是一個六自由度的運動臺◕◕▩☁▩，其中X/Y向運動臺是最核心的基礎工序☁·↟₪☁。管控XY軸角度Yaw和Pitch◕◕▩☁▩，直線度Horizontal Straightness和Vertical Straightness是獲得XY線性（重複）精度（Linear Positioning）的關鍵◕◕▩☁▩，是後續實現六自由度的控制的基石◕◕▩☁▩，是多層曝光對準精度的源頭☁·↟₪☁。

本次檢測一臺光刻機XY軸的角擺和直線度◕◕▩☁▩，部分結果如下╃✘│✘↟：

Y軸Vertical Straightness測量

X軸Pitch測量

X軸測量軸長225mm◕◕▩☁▩，其中垂直直線度測得結果0.58μm☁·↟₪☁。 

Y軸測量軸長600mm◕◕▩☁▩，測得角度Yaw結果0.86″☁·↟₪☁。