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SJ6000鐳射干涉儀檢測光刻機

釋出時間╃✘│✘↟:2021/4/9 10:03:38

光刻機是積體電路生產的最關鍵的裝置之一◕◕▩☁▩,在整個生產過程中佔據重要的地位☁·↟₪☁。高精度的工作臺作為光刻機核心部件之一◕◕▩☁▩,運動效能和定位精度決定了光刻工藝所能實現的線寬和產率☁·↟₪☁。

光刻機的工作臺是一個六自由度的運動臺◕◕▩☁▩,其中X/Y向運動臺是最核心的基礎工序☁·↟₪☁。管控XY軸角度YawPitch◕◕▩☁▩,直線度Horizontal StraightnessVertical Straightness是獲得XY線性(重複)精度(Linear Positioning)的關鍵◕◕▩☁▩,是後續實現六自由度的控制的基石◕◕▩☁▩,是多層曝光對準精度的源頭☁·↟₪☁。

本次檢測一臺光刻機XY軸的角擺和直線度◕◕▩☁▩,部分結果如下╃✘│✘↟:

 

YVertical Straightness測量

XPitch測量

X軸測量軸長225mm◕◕▩☁▩,其中垂直直線度測得結果0.58μm☁·↟₪☁。 

Y軸測量軸長600mm◕◕▩☁▩,測得角度Yaw結果0.86″☁·↟₪☁。

 

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